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사용신청현황

  • 1
  • 2018-03-04 ~ 2018-03-10
  • 2
날짜 18-03-04 18-03-05 18-03-06 18-03-07 18-03-08 18-03-09 18-03-10
보급형 실습용 SEM (SEM)
알파스텝
UV-Visible spectroscopy
전극용 진공증착기 (E-beam 2)
Raman Spectroscopy
X선회절분석기 (XRD)
Magnetron Sputter 18-03-0815:00~18:00안희조
Spin Coater
전자빔 진공증착시스템 (E-beam 1) 18-03-0610:00~22:00Tatiana 18-03-0710:00~21:00조재유 18-03-0810:00~21:00조재유 18-03-0910:00~20:00강명길 18-03-1020:00~00:00강명길
GaN 유기금속화학증착시스템(MOCVD)
질화물 식각장치 (ICP-RIE)
플라즈마화학기상증착시스템(PECVD)
Thermal Evaporator 1 (2F)
ALD (원자층 증착장비) 18-03-0608:00~23:00조재유 18-03-0709:00~14:00조재유18-03-0715:00~19:00HARI 18-03-0809:00~23:00ZAFAR 18-03-0909:00~13:00Aadil Waseem18-03-0913:00~23:00신형호
산화물 전용 스퍼터 (Oxide Sputtering System) 18-03-0610:00~23:00조재유 18-03-0709:00~22:00조재유 18-03-0810:00~18:00박준성 18-03-0909:00~21:00Aadil Waseem 18-03-1009:00~23:00조재유
Thermal Evaporator 2 (B1 clean room) 18-03-0518:00~21:00이다정 18-03-0814:00~16:00송재관 18-03-1015:00~17:00조경렬
Solar simulator