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사용신청현황

  • 1
  • 2018-10-14 ~ 2018-10-20
  • 2
날짜 18-10-14 18-10-15 18-10-16 18-10-17 18-10-18 18-10-19 18-10-20
보급형 실습용 SEM (SEM)
알파스텝
UV-Visible spectroscopy
전극용 진공증착기 (E-beam 2)
Raman Spectroscopy
X선회절분석기 (XRD)
Magnetron Sputter 18-10-1510:00~16:00nomin
Spin Coater
전자빔 진공증착시스템 (E-beam 1) 18-10-1408:00~20:00Chandra Mohan Manoj Kumar 18-10-1510:00~20:00nomin 18-10-1610:00~18:00nomin 18-10-1708:00~20:00Chandra Mohan Manoj Kumar 18-10-1808:00~20:00Chandra Mohan Manoj Kumar
GaN 유기금속화학증착시스템(MOCVD)
질화물 식각장치 (ICP-RIE)
플라즈마화학기상증착시스템(PECVD)
Thermal Evaporator 1 (2F)
ALD (원자층 증착장비) 18-10-1409:00~23:00Indrajit 18-10-1509:00~23:00Indrajit
산화물 전용 스퍼터 (Oxide Sputtering System) 18-10-1409:00~23:00정대경 18-10-1509:00~23:00Aadil Waseem
Thermal Evaporator 2 (B1 clean room)
Solar simulator