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전남대 LINC+ 사업단

공동장비

공동장비목록

번호 기자재명 구입년도 기자재위치
106 플라즈마화학기상증착시스템(PECVD) 2008 소자제조공정교육 실험실
104 질화물 식각장치 (ICP-RIE) 2008 소자제조공정교육 실험실
103 GaN 유기금속화학증착시스템(MOCVD) 2008 소자제조공정교육 실험실
102 메탈식각장치 2007 소자제조공정교육 실험실
101 전자빔 진공증착시스템 (E-beam 1) 2006 소자제조공정교육 실험실
97 급속열처리시스템(RTA) 2005 소자제조공정교육 실험실
88 Portable OSA 2004 소자제조공정교육 실험실
80 Deep UV Ar laser system 2004 소자제조공정교육 실험실
79 Laser MBE growth chamber 2004 소자제조공정교육 실험실
78 Glove Box 2003 소자제조공정교육 실험실
74 Mask aligner chuck 2003 소자제조공정교육 실험실
70 3차원 표면분석기 2003 소자제조공정교육 실험실
65 광학박막증착용 레이저 2003 소자제조공정교육 실험실
60 Spin Coater 2002 소자제조공정교육 실험실
57 유기EL용 굴절반사실험장치 2002 소자제조공정교육 실험실